অ্যালুমিনিয়াম নাইট্রাইড সিরামিক চক উচ্চ - তাপমাত্রা প্রক্রিয়া সহ্য করতে পারে

উচ্চ-তাপমাত্রা সেমিকন্ডাক্টর এবং শিল্প অ্যাপ্লিকেশনগুলিতে তাদের ব্যতিক্রমী তাপীয় এবং যান্ত্রিক বৈশিষ্ট্যের কারণে অ্যালন সিরামিক চকগুলি এক্সেল করে:

চরম তাপমাত্রা প্রতিরোধের - ক্রাইওজেনিক থেকে 1000 ডিগ্রি (জড় বায়ুমণ্ডলে), অ্যালুমিনা (800 ডিগ্রিতে সীমাবদ্ধ) এবং পলিমারকে ছাড়িয়ে যায়।

Thermal Shock Resilience–Withstands rapid thermal cycling (ΔT >500 ডিগ্রি \/সেকেন্ড) ক্র্যাকিং ছাড়াই, চিপ উত্পাদনতে দ্রুত তাপ প্রক্রিয়াকরণ (আরটিপি) এর জন্য সমালোচনামূলক।

কম তাপীয় প্রসারণ - 4.5 পিপিএম\/কে এর সিটিই সিলিকন ওয়েফারগুলির (2.6 পিপিএম\/কে) ঘনিষ্ঠভাবে মেলে, গরম করার সময় ওয়েফার ওয়ারপেজকে হ্রাস করে।

উচ্চ তাপীয় পরিবাহিতা - 170-200 ডাব্লু\/এম কে তাপ অপচয় হ্রাস অভিন্ন ওয়েফার তাপমাত্রা (600 ডিগ্রি 450 মিমি ওয়েফার জুড়ে 1 ডিগ্রি) বজায় রাখে।

Oxidation Resistance–Forms a protective Al₂O₃ surface layer at >কাঠামোগত অখণ্ডতা সংরক্ষণ করে বায়ুতে 800 ডিগ্রি।

প্লাজমা এবং রাসায়নিক স্থিতিশীলতা - এমওসিভিডি চেম্বারে 900 ডিগ্রি এ হ্যালোজেন প্লাজমাস (সিএল ₂\/এফ) এবং ধাতব জৈব পূর্ববর্তীদের রেজিস্ট করে।

মূল অ্যাপ্লিকেশন:

EUV লিথোগ্রাফি পর্যায় (5nm নোডের চেয়ে কম বা সমান)

গ্যান এপিট্যাক্সি রিঅ্যাক্টর (800-1100 ডিগ্রি)

পাওয়ার ডিভাইস অ্যানিলিং (700 ডিগ্রি, 5 মিনিট চক্র)

শূন্য আউটগ্যাসিং এবং<0.1μm thermal deformation, AlN chucks enable high-precision processing in advanced semiconductor fabs and LED production. Their 10x longer lifespan than traditional materials reduces downtime in 24/7 wafer fabs.

আরও জন্যঅ্যালুমিনিয়াম নাইট্রাইড সিরামিক চকতথ্য, দয়া করে নিম্নলিখিত www.ceramicstimes.com দেখুন