অর্ধপরিবাহী উত্পাদন শিল্পে, উত্পাদন পরিবেশের পরিষ্কার -পরিচ্ছন্নতা এবং সরঞ্জামগুলির স্থায়িত্ব সরাসরি চিপগুলির ফলন এবং কার্যকারিতা নির্ধারণ করে। যেহেতু উত্পাদন প্রক্রিয়াগুলি 3nm এবং 2NM নোডের দিকে অগ্রসর হতে থাকে, তাই কণা দূষণ এবং স্থির বিদ্যুতের সমস্যার ঝুঁকিতে প্রচলিত ধাতব রোবোটিক অস্ত্রগুলি ক্রমবর্ধমানভাবে একটি বাধা হয়ে দাঁড়ায় ফলন উন্নতিতে পরিণত হচ্ছে। সিরামিক রোবোটিক আর্মস, তবে তাদের অনন্য উপাদান বৈশিষ্ট্যগুলি উন্নত সেমিকন্ডাক্টর ম্যানুফ্যাকচারিংয়ের 'ডাস্ট - ফ্রি হ্যান্ডস' হিসাবে আবির্ভূত করার জন্য তাদের অনন্য উপাদান বৈশিষ্ট্যগুলি উপার্জন করে, ওয়েফার ফ্যাবস ক্লিনার এবং আরও স্থিতিশীল স্বয়ংক্রিয় সমাধান সরবরাহ করে।
সেমিকন্ডাক্টর উত্পাদন কেন 'ক্লিন হ্যান্ডস' প্রয়োজন?
ধাতব দূষণের মারাত্মক প্রভাব
ওয়েফার প্রসেসিংয়ের সময়, ধাতব রোবোটিক বাহু থেকে ঘর্ষণ দ্বারা উত্পাদিত ট্রেস কণা (যেমন ফে এবং নী) সরাসরি ওয়েফার পৃষ্ঠের সাথে মেনে চলতে পারে, যার ফলে সার্কিট শর্ট সার্কিট বা ফুটো হতে পারে। গবেষণা দেখায় যে এমনকি ন্যানোস্কেল ধাতব দূষণ এমনকি চিপগুলির ফলনকে 28 এনএম বা তারও কম 5% থেকে 10% দ্বারা কমিয়ে দিতে পারে।
বৈদ্যুতিন স্রাব (ইএসডি) ঝুঁকি
Dition তিহ্যবাহী ধাতব বা যৌগিক উপাদান রোবোটিক অস্ত্রগুলি উচ্চ - গতি চলাচলের সময় স্ট্যাটিক বিদ্যুৎ জমে থাকে, পরিবেশ থেকে ধূলিকণা আকর্ষণ করে এবং এমনকি বৈদ্যুতিন স্রাবের কারণ হতে পারে যা সংবেদনশীল উপাদানগুলিকে ক্ষতি করতে পারে। তবে সিরামিকের প্রাকৃতিক অন্তরক বৈশিষ্ট্য (প্রতিরোধ ক্ষমতা> 10¹²ω · সেমি) এই ঝুঁকিটি দূর করতে পারে।
রাসায়নিক জারা চ্যালেঞ্জ
এচিং এবং ক্লিনিংয়ের মতো ভেজা প্রক্রিয়াগুলিতে অ্যাসিডিক সমাধানগুলি (যেমন এইচএফ এবং এইচএসও) ধাতব রোবোটিক অস্ত্রগুলির পৃষ্ঠকে ক্ষয় করে, তাদের পরিষেবা জীবনকে সংক্ষিপ্ত করে। সিরামিকগুলি (যেমন জিরকোনিয়া এবং অ্যালুমিনিয়াম নাইট্রাইড) তাদের অ্যাসিড এবং ক্ষার প্রতিরোধের কারণে শক্তিশালী ক্ষয়কারী পরিবেশের বিরুদ্ধে প্রতিরোধী, তাদের পরিষেবা জীবনকে তিনবারেরও বেশি বাড়িয়ে দেয়।
সিরামিক রোবোটিক অস্ত্রগুলিতে তিনটি প্রধান প্রযুক্তিগত অগ্রগতি
শূন্য কণা দূষণ
উচ্চ - বিশুদ্ধতা (99.9% বা উচ্চতর) সিরামিক উপকরণ এবং নন - চৌম্বকীয় ড্রাইভ উপাদানগুলি ঘর্ষণ ধূলিকণা উত্পাদন রোধ করতে ব্যবহৃত হয়। প্রকৃত পরিমাপের ডেটা দেখায় যে ক্লাস 1 ক্লিন রুমে, অপারেশন চলাকালীন সিরামিক রোবোটিক অস্ত্রগুলির কণা রিলিজ ধাতব বাহুগুলির তুলনায় 90% কম।
সাব - মাইক্রন পুনরাবৃত্তিযোগ্যতা নির্ভুলতা
সিরামিকের অনমনীয়তার উচ্চ মডুলাস (300 জিপিএর চেয়ে বেশি বা সমান) এবং কম তাপীয় প্রসারণ সহগ (<5×10⁻⁶/℃) ensure that the robotic arm maintains a positioning accuracy of ±0.1μm even during high-speed movement, meeting the wafer transfer requirements of lithography machines.
সম্পূর্ণ প্রক্রিয়া সামঞ্জস্যতা
ওয়েফার হ্যান্ডলিং এবং লিথোগ্রাফি প্রান্তিককরণ থেকে প্যাকেজিং এবং পরীক্ষার দিকে, সিরামিক রোবোটিক অস্ত্রগুলি সমস্ত অর্ধপরিবাহী প্রক্রিয়াগুলির সাথে সামঞ্জস্যপূর্ণ এবং এমআরএএম এবং কোয়ান্টাম চিপ তৈরির জন্য বিশেষভাবে উপযুক্ত, যা চৌম্বকীয়তার সংবেদনশীল।
শিল্পের প্রমাণ: শীর্ষস্থানীয় ওয়েফার ফ্যাব এ ফলন উন্নতির কেস স্টাডি
সিরামিক রোবোটিক আর্মস চালু করার পরে, একটি শীর্ষস্থানীয় আন্তর্জাতিক ওয়েফার ফাউন্ড্রি দেখেছিল:
1। ত্রুটি ঘনত্বের একটি 18% হ্রাস (ধাতব দূষণ - সম্পর্কিত ত্রুটিগুলি প্রায় শূন্যে হ্রাস পেয়েছে)
2। সরঞ্জাম রক্ষণাবেক্ষণ চক্র 8,000 ঘন্টা পর্যন্ত বাড়ানো হয়েছে (ধাতব অস্ত্রের জন্য 2,000 ঘন্টার তুলনায়)
3। সামগ্রিক ফলনের উন্নতি ২.৩% (একটি 5nm উত্পাদন লাইনের জন্য, এটি একক কারখানার জন্য 120 মিলিয়ন ডলারেরও বেশি আয়তে বার্ষিক বৃদ্ধির সমান)
ভবিষ্যতের প্রবণতা: সিরামিকের বুদ্ধিমান সংহতকরণ
রিয়েল টাইমে কম্পন এবং তাপমাত্রার মতো পরামিতিগুলি নিরীক্ষণের জন্য সিরামিক রোবোটিক অস্ত্রগুলির পরবর্তী প্রজন্ম আইওটি সেন্সরগুলির সাথে এম্বেড করা হবে। এআই অ্যালগরিদমের মাধ্যমে তারা রক্ষণাবেক্ষণ নোডগুলির পূর্বাভাস দেবে, আরও ডাউনটাইমের ঝুঁকি হ্রাস করবে। যেহেতু অর্ধপরিবাহী প্রক্রিয়াগুলি শারীরিক সীমাতে পৌঁছায়, সিরামিক উপকরণগুলির 'ক্লিন জিন' মুরের আইন ভঙ্গ করার ক্ষেত্রে মূল সক্ষম হয়ে উঠবে।
সেমিকন্ডাক্টর ম্যানুফ্যাকচারিংয়ের যথার্থ যুদ্ধক্ষেত্রে, সিরামিক রোবোটিক অস্ত্রগুলি কেবল উপকরণগুলিতেই আপগ্রেড নয়, ফলন হারের জন্য দৌড়ের ক্ষেত্রেও কৌশলগত পছন্দ। ২৮nm থেকে 2nm পর্যন্ত, সিলিকন থেকে তৃতীয় - প্রজন্মের সেমিকন্ডাক্টরগুলির উপর ভিত্তি করে সিলিকন থেকে 'ধুলা - ফ্রি হ্যান্ড' চিপ উত্পাদনটির নির্ভরযোগ্যতা মানকে নতুনভাবে সংজ্ঞায়িত করছে।
ফোন নম্বর
13918810800
E - মেল
lh@ceramicstimes.com
