উচ্চ-তাপমাত্রা প্রতিরোধের, প্লাজমা জারা প্রতিরোধের, উচ্চ বিশুদ্ধতা এবং উচ্চ বৈদ্যুতিক নিরোধকের মতো ব্যতিক্রমী বৈশিষ্ট্যগুলির সাথে, উন্নত সিরামিকগুলি সমগ্র প্রক্রিয়া প্রবাহ জুড়ে অর্ধপরিবাহী সরঞ্জামগুলির মূল উপাদানগুলির জন্য গুরুত্বপূর্ণ কাঁচামাল হিসাবে কাজ করে প্যাকেজিং/পরীক্ষা। এই উপাদানগুলি সরাসরি চিপের ফলন এবং সরঞ্জামের স্থায়িত্বকে প্রভাবিত করে। এই নিবন্ধটি, চিপ উত্পাদন প্রক্রিয়া প্রবাহের চারপাশে গঠিত, গার্হস্থ্য সরঞ্জাম প্রস্তুতকারকদের সিরামিক উপাদানগুলির প্রয়োগ, শিল্প অগ্রগতি, এবং আমদানি প্রতিস্থাপনের বর্তমান অবস্থা, প্রক্রিয়া দ্বারা প্রক্রিয়া পর্যালোচনা করে।
I. ওয়েফার ম্যানুফ্যাকচারিং
মূল উপাদান এবং উপকরণ: সিরামিক ট্রে, সিরামিক হিটার, সেমিকন্ডাক্টর ভালভ, ভ্যাকুয়াম চেম্বারের অংশ (Al₂O₃, Si₃N₄, SiC, ইত্যাদি)
মূল কর্মক্ষমতা প্রয়োজনীয়তা: উচ্চ বিশুদ্ধতা, উচ্চ-তাপমাত্রা প্রতিরোধ, তাপ শক প্রতিরোধ, উচ্চ সমতলতা – সিলিকন ওয়েফারের জন্য সাবস্ট্রেট প্রস্তুতি সমর্থন করার জন্য।
২. থার্মাল প্রসেসিং (অক্সিডেশন / ডিফিউশন / অ্যানিলিং)
মূল উপাদান এবং উপকরণ: SiC বোট, ফার্নেস টিউব সিরামিক যন্ত্রাংশ, সিরামিক হিটার, সিরামিক অগ্রভাগ, সিরামিক ভালভ
মূল কার্য সম্পাদনের প্রয়োজনীয়তা: উচ্চ-তাপমাত্রা প্রতিরোধের (1200 ডিগ্রির চেয়ে বেশি বা সমান), তাপীয় শক প্রতিরোধ ক্ষমতা, কম আউটগ্যাসিং, উচ্চ বিশুদ্ধতা – উচ্চ-তাপমাত্রার অক্সিডেশন/ডিফিউশন/অ্যানিলিং প্রক্রিয়ার জন্য উপযুক্ত।
III. পাতলা-চলচ্চিত্র জমা
মূল উপাদান এবং উপকরণ: সিরামিক হিটার (AlN, Al₂O₃, Si₃N₄); ডিপোজিশন রিং, চেম্বার লাইনার, গ্যাস ডিস্ট্রিবিউশন পার্টস (SiC, Al₂O₃)
মূল কর্মক্ষমতা প্রয়োজনীয়তা: উচ্চ- ±1 ডিগ্রির মধ্যে নির্ভুলতা তাপমাত্রার অভিন্নতা, চমৎকার তাপীয় স্থিতিশীলতা, কম আউটগ্যাসিং, উচ্চ-তাপমাত্রার বিকৃতির প্রতিরোধ - দীর্ঘ-সময়ের অবিচ্ছিন্ন জমার জন্য উপযুক্ত।
IV লিথোগ্রাফি এবং লেপ/উন্নয়ন
মূল উপাদান এবং উপকরণ: নির্ভুল পর্যায়, সিরামিক ভ্যাকুয়াম চক, মাস্ক হোল্ডার, কম্পন-ড্যাম্পিং বেস (কর্ডিয়েরাইট, এসআইসি, লো-প্রসারণ গ্লাস-সিরামিক যেমন জেরোডুর); কোট/উপকরণের জন্য: সিরামিক অস্ত্র, মাইক্রোপোরাস সিরামিক চক, ভ্যাকুয়াম আঙ্গুল
মূল কার্য সম্পাদনের প্রয়োজনীয়তা: অতি-নিম্ন সহগ তাপীয় সম্প্রসারণ, ন্যানো-স্তরের অতি-উচ্চ সমতলতা, উচ্চ দৃঢ়তা, কম্পন স্যাঁতসেঁতে – লিথোগ্রাফিতে উচ্চ-নির্ভুল এক্সপোজার নিশ্চিত করতে; আবরণ/উন্নয়নকারী অংশগুলিরও রাসায়নিক জারা প্রতিরোধের এবং কম কণা তৈরির প্রয়োজন।
ভি. এচিং
মূল উপাদান এবং উপকরণ: ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক চক (Al₂O₃, AlN); ফোকাস রিং, শাওয়ারহেড, গ্যাস ডিস্ট্রিবিউশন প্লেট, চেম্বার লাইনার (SiC, Y₂O₃ আবরণ উপাদান হিসাবে)
মূল কার্যকারিতা প্রয়োজনীয়তা: প্লাজমা জারা প্রতিরোধ, অতি-উচ্চ বিশুদ্ধতা, কম কণা ঝরানো, উচ্চ বৈদ্যুতিক নিরোধক – উচ্চ-ফ্রিকোয়েন্সি, উচ্চ-তীব্রতা এচিংয়ের জন্য উপযুক্ত।
VI. আয়ন ইমপ্লান্টেশন
মূল উপাদান এবং উপকরণ: সিরামিক স্ক্রু ভালভ, সিরামিক স্ট্রাকচারাল অংশগুলি অন্তরক, উচ্চ-তাপমাত্রার ক্ষয়-প্রতিরোধী সিরামিক উপাদান
মূল কর্মক্ষমতা প্রয়োজনীয়তা: উচ্চ বিশুদ্ধতা, উচ্চ-ভোল্টেজ প্রতিরোধ, কম আউটগ্যাসিং, মাত্রিক স্থিতিশীলতা – আয়ন বিম পরিবহন এবং বিচ্ছিন্নতার জন্য উপযুক্ত।
VII. সিএমপি (কেমিক্যাল মেকানিক্যাল প্ল্যানারাইজেশন)
মূল উপাদান এবং উপকরণ: সিরামিক চক, সিরামিক ওয়ার্কটেবল, ছিদ্রযুক্ত সিরামিক প্লেট
মূল কর্মক্ষমতা প্রয়োজনীয়তা: উচ্চ সমতলতা, উচ্চ অনমনীয়তা, পরিধান প্রতিরোধের, রাসায়নিক জারা প্রতিরোধের – ওয়েফার প্ল্যানারাইজেশন সমর্থন করার জন্য।
অষ্টম। ক্লিনিং
মূল উপাদান এবং উপকরণ: সিরামিক অগ্রভাগ, সিরামিক ভালভ, জারা-প্রতিরোধী সিরামিক কাঠামোগত অংশ
মূল কর্মক্ষমতা প্রয়োজনীয়তা: শক্তিশালী অ্যাসিড/ক্ষার প্রতিরোধ, উচ্চ বিশুদ্ধতা, কম কণা মুক্তি - ভিজা পরিষ্কার পরিবেশের জন্য উপযুক্ত।